TFT tehnologija razvijena je 1990-ih. Usvaja nove materijale i nove procese za tehnologiju proizvodnje potpuno integriranih krugova velikih poluvodiča. Koristi se za zaslone ravnih ploča s tekućim kristalima (LC), anorganskim i organskim elektroluminiscencijama tankog filma (EL i OEL). osnova. TFT je ne-pojedinačna pločica kao što je staklena ili plastična podloga (naravno, može biti i na pločici) kroz procese ispucavanja i kemijskog taloženja kako bi se formirali različiti filmovi potrebni za proizvodnju krugova, a veliki poluvodički integrirani krugovi (LSIC) proizvode se obradom filmova. . Korištenje ne-pojedinačnih kristalnih supstrata može uvelike smanjiti troškove i proširenje je tradicionalnih integriranih krugova velikih razmjera na velike površine, višenamjenske i jeftine smjerove. Tehnički je teže proizvesti TFT-ove koji kontroliraju performanse prebacivanja piksela (LC ili OLED) na staklenim ili plastičnim podlogama velikih površina nego proizvoditi velike IC-ove na silikonskim pločicama. Zahtjevi za proizvodno okruženje (stupanj pročišćavanja je 100), zahtjevi za čistoću sirovina (čistoća elektroničkog posebnog plina je 99,999985%), a zahtjevi za proizvodnom opremom i tehnologijom proizvodnje premašuju veliku integraciju poluvodiča. To je vrh moderne velike proizvodnje. Tehnologija. Njegove glavne značajke su:
(1) Velika površina: Prva generacija staklene podloge velikih površina (300 mm×400 mm) proizvodna linija TFT-LCD puštena je u proizvodnju početkom 1990-ih. Do prve polovice 2000. godine površina staklene podloge proširena je na 680 mm×880 mm), a veličina staklene podloge bila je 950 mm×1200 mm. Staklena podloga također će biti puštena u rad. U načelu ne postoji ograničenje površine.
(2) Visoka integracija: 1,3-inčni TFT čip koji se koristi za projekciju tekućih kristala ima razlučivost XGA koja sadrži milijune piksela. Debljina filma 16,1-inčnog Amorfnog silicija TFT niza razlučivosti SXGA (1280×1024) iznosi samo 50nm, a TAB ON GLASS i SYSTEM ON GLASS tehnologije, integracija IC-a, zahtjevi za opremom i tehnologijom opskrbe te tehničke poteškoće Svi premašuju tradicionalni LSI.
(3) Snažne funkcije: TFT je prvi put korišten kao krug mjesta matrice za poboljšanje karakteristika svjetlosnog ventila tekućih kristala. Za zaslone visoke rezolucije, kroz regulaciju napona u rasponu od 0-6V (obično 0,2 do 4V), postiže se precizna kontrola objekta, što LCD-u omogućuje postizanje visokokvalitetnih zaslona visoke rezolucije. TFT-LCD je prvi zaslon ravnog panela u ljudskoj povijesti koji premašuje CRT u kvaliteti zaslona. I ljudi počinju integrirati IC vozača na staklenu podlogu, a funkcija cijelog TFT-a bit će snažnija, što je neusporedivo s tradicionalnim velikim poluvodičkim integriranim krugovima.
(4) Niska cijena: Staklena podloga i plastična podloga iz temelja rješavaju problem troškova velikih poluvodičkih integriranih krugova i otvaraju širok prostor za primjenu velikih poluvodičkih integriranih krugova.
